以无生命微粒为控制的对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。电子工厂洁净厂房的设计、建造必须适应电子行业快速发展的需要。从洁净厂房的规划开始,对于电子工厂洁净厂房的工艺设计、工艺布局应充分考虑电子产品发展的灵活性,以满足电子产品生产工艺改造和扩大生产的需求。同时考虑系统的节能运行。

GB50472-2013洁净厂房设计规范

GB50472-2008-电子工业洁净厂房设计规范

■ 服务领域：精密机械制造、汽车零部件生产、电讯设备制造、光学仪器仪表生产等。

■ 重点注意事项：

1、人流

1-1、人员手机看片福利永久：

1-2、洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时，应设气闸室；

1-3、单人空气吹淋室，应按最大班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设单向旁通门；

1-4、空气吹淋室的进、出门不得同时开启，应采取连锁控制措施；

1-5、空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室，宜设气闸室。

2、物流

2-1、洁净室内的设备和物料出入口，应独立设置，并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置手机看片福利永久用室及相应的物净设施。

2-2、物料手机看片福利永久用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。

3、静压差

3-1、不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa；

3-2、洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa；

3-3、洁净室与室外的静压差应大于10Pa。