洁净厂房装修工程不同的洁净等级需要不同的换气次数。

  换气次数=房间送风量/房间体积，单位是次/小时。各等级的洁净厂房装修换气次数

  情况如下所示：

  各等级洁净厂房装修换气次数

  Table 1-5 Air Changes in Clean Room of Different Classes

  洁净厂房等级 换气次数

  10万级洁净厂房 N15次/小时

  万级洁净车间 N25次/小时

  千级手机看片福利永久车间 N50次/小时

  100级洁净室 平流层 0.2—0.45m/s

  洁净厂房装修是按气流状态来分，有乱流洁净厂房、单向洁净室和辐射洁净室。乱流洁 净室特点是从送风口到回风口的流通截面始终变化，类似一种稀释的效果，不能 完全将颗粒送向出风口，因此它只能达到1000级及以下的洁净度。而单向洁净室 可以创造出更高的洁净度，其中垂直单向流洁净室效果更好。在顶棚布满高效过 滤器FFU，并利用地板格栅回风，从而得到均匀向下的单向平行 气流，自净能力强。

  洁净厂房装修的布局，从平面结构上来看，有三种形式:开放式、 港湾式和岛型布置

  目前在8英寸和12英寸的半导体洁净厂房布局普遍采用开放式洁净室加微环境 的方式，此布局方式可以为洁净室内的布局带来很大的便利性，并且可以减少循 环风量。在开阔的空间内，如用力室，洁净度达到1万级，然后在局部的作业室 内，通过微环境的控制将洁净度提高到100级甚至更高。

  减少空气的循环量，需要对风量进行精确的控制

  一方面要求洁净厂房内的 设备布局更加合理，可以设置微环境，减少高规格洁净室的面积以及单向流的需 求；

  另一方面做好手机看片福利永久间的密闭性，在合理的范围内降低正压的控制，保持手机看片福利永久 间的正压不要过高"I,都可以减少手机看片福利永久间内所需要的新鲜空气的总量，降低了洁 净室的换气速度，对于空调系统送入的风量有进一步的降低。

  新风量的减小虽然在一定程度上节约了能源，但往往意味着会不同程度上降 低室内空气质量，而通过液体除湿也可以除去空气的潜热负荷来降低能源消耗， 而不是通过冷却除湿。结合两者，基于液体除湿的空调系统可以通过增加新鲜空 气进入空调系统的体积来提高室内空气质量。而除湿液 体可以使用氯化钙、漠而、氯化锂等金属卤盐除湿溶液a】。